平板显示装置的制作方法技术资料下载

技术编号:2699803

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本发明涉及一种具有多晶硅薄膜晶体管的平板显示装置,并且特别涉及一种具有多晶硅薄膜晶体管的平板显示装置,其中形成在平板显示装置中包括的薄膜晶体管的有源沟道区中的多晶硅的晶界数根据薄膜晶体管而变化。背景技术 已知,存在于有源沟道区中包括的多晶硅晶界上的成键缺陷(诸如悬键),在使用多晶硅制造薄膜晶体管(以下称作“TFT”)时,对电荷载流子起陷阱的作用。因此,晶粒的尺寸、晶粒尺寸的均匀性、晶粒的数量和位置、以及晶粒的方向不仅直接和/或间接地对诸如阈值电压(Vth)...
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