技术编号：2699965
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种，其结构包括照明系统、用于承载硅片的工件台、用于承载圆形掩模的掩模台以及同步控制系统，所述照明系统提供光源，所述同步控制系统控制所述工件台做直线运动，控制所述掩模台做圆周运动，所述掩模台圆周运动的圆心为所述圆形掩模的圆心。本发明中，基于圆形掩模而设计的同步控制系统控制工件台、掩模台以及照明系统的运动，按照特定的路径完成扫描，完成一个曝光场的扫描后，圆形掩模继续做匀速圆周运动，工件台继续做匀速直线运动，进行下一个曝光场的扫描，大大减少发生路径折...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。