技术编号：2700158
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种偏差补正方法和装置，计算曝光后形成的图形上至少一个点在X和Y方向上的位移偏移量，还计算所述图形上至少一条对角线的旋转角度偏移量；根据得到的位移偏移量以及旋转角度偏移量进行偏差补正。本发明的偏差补正技术利用曝光后形成的图形的对角线的旋转角度进行偏差补正，比现有技术中计算四条边的旋转角度更能反应曝光后形成图形的旋转趋势，有效提高了偏差补正准确性；并且，由于对设计图形没有形状和位置的要求，因此对何种图形均能够计算出曝光后形成图形的旋转角度；另外，...
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