技术编号：2700236
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种掩膜版回推机构，包括旋转机构和推动机构，所述旋转机构包括电机、传动机构以及曲柄连杆机构，所述曲柄连杆机构与密封门连接，所述电机通过所述传动机构驱动所述曲柄连杆机构转动，进而驱动连接在所述曲柄连杆机构上的密封门运动；所述推动机构固定于所述密封门上。本发明利用所述电机的旋转驱动所述密封门的开合，并利用固定于所述密封门上的推动机构推动掩膜版，使其回复至初始位置，便于后续机械手的抓取动作。专利说明一种掩膜版回推机构 [0001] 本发明涉及掩膜...
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