基于ccd对位系统的曝光的制造方法技术资料下载

技术编号:2700729

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本发明公开了一种基于CCD对位系统的曝光机,包括机座,以及设于机座上的自动供收机构、贴合机构,CCD自动对位机构、曝光光源组以及控制装置。本发明通过控制装置的统一控制以及各部件的协调工作,实现全程自动化上下料以及曝光和贴合,连续循环式的输送以及出料方式极大地提高了生产效率,通过CCD自动对位系统的精密对位,取代人工对位方式,不但有效地提高效率,而且能够降低人为因素的影响,从而保证产品的质量,另外本发明采用独特的光源设定,能够稳定地实现紫外平行光的输出,从而...
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