技术编号：2701391
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供了一种光刻机的快门叶片，用于光刻机的曝光系统，所述快门叶片的基体材料为金属材料，所述快门叶片包括接受汞灯光照射的正面和与之相背的背面，所述快门叶片的正面和背面中至少一面上设有一层非金属涂层。本发明通过在所述快门叶片的正面和背面中至少一面上设有涂层，实现了对快门叶片的温度控制，避免了快门受热辐射出的可见光被剂量控制系统中的探测器探测到，进而防止了热辐射对剂量控制造成干扰，克服快门叶片受热的辐射对剂量控制的精度的影响。专利说明光刻机的快门叶片 ...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。