技术编号：2701411
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供一种偏振光照射装置，其可实现高偏光消光比、均匀的偏光方位及宽照射面积的。偏振光照射装置包括射出紫外光的光源部、使所述紫外光平行化的平行光形成部、及偏振光形成部。所述偏振光形成部包括具有设在透明板的第1面的介电质多层膜的板型偏振分光镜，通过使从所述平行光形成部射出且倾斜地入射至所述介电质多层膜的表面的所述紫外光中的s偏光成分反射，使p偏光成分透射，而将分离所得的所述s偏光成分作为照射光束射出。专利说明偏振光照射装置[0001]本发明的实施方式涉及一...
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