Mach-Zehder干涉仪结构的硅基光隔离器的制造方法技术资料下载

技术编号:2701466

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本发明提供了一种Mach-Zehder干涉仪结构的硅基光隔离器,其包括一个硅基Mach-Zehder干涉仪和实施在所述Mach-Zehder干涉仪上臂、下臂的上微扰调制结构、下微扰调制结构,所述上微扰调制结构将沿上臂正向传播的一特定频率光信号耦合成一目标频率的光信号,所述下微扰调制结构将沿下臂正向传播的光信号耦合成所述目标频率的光信号,所述下微扰调制结构耦合产生的目标频率光信号与所述上微扰调制结构产生的目标频率光信号相位相反,当光信号沿干涉仪反向传播时上臂...
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