技术编号：2701495
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。提供了一种新颖的光致抗蚀剂组合物，该组合物包含一种组分，所述组分含有酰胺基团和多个羟基。优选地，本发明的光致抗蚀剂可以包含具有光生酸不稳定性基团的树脂；光致产酸剂化合物；以及酰胺组分，所述酰胺组分包含多个羟基，可以用来减少光致酸从光致抗蚀剂涂层未曝光的区域扩散到外部的不利现象。专利说明包含酰胺组分的光致抗蚀剂[0001 ] 本发明涉及包含含有两个或更多个羟基的酰胺组分的光致抗蚀剂组合物。本发明优选的光致抗蚀剂可以包含具有光致酸不稳定基团的树脂；光致产酸剂化...
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