光波导芯片和pd阵列透镜耦合装置制造方法技术资料下载

技术编号:2702301

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本发明公开了一种光波导芯片和PD阵列透镜耦合装置,包括波导芯片(101)、PD阵列(102)、热沉(107)、波导垫片(108)、基板(109),波导垫片(108);热沉(107)位于基板(109)之上,PD阵列(102)位于热沉(107)上,波导垫片(108)上设置有波导芯片(101),所述波导芯片(101)与PD阵列(102)之间的光路中设置有反射棱镜(104),波导芯片(101)输出光经过反射棱镜(104)反射,由PD阵列(102)接收;且波导芯片(...
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