光刻胶剥离剂组合物的制作方法技术资料下载

技术编号:2702351

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本发明提供了一种光刻胶剥离剂组合物,其包括多元醇混合物、氢氧化季氨盐、醇钠、吗啉、表面活性剂、水溶性有机溶剂、防腐蚀剂混合物、有机胺和去离子水。本发明提供的光刻胶剥离剂组合物对光刻胶层具有优良的剥离性,且不会对金属布线材料产生浸蚀,在半导体电路元件制造工序中,具有很大的优势。专利说明光刻胶剥离剂组合物[0001]本发明涉及印刷电路板平板印刷,尤其涉及一种用于显影过程之后剥离光刻胶的光刻胶剥离剂组合物,更进一步涉及一种在去除用于布图金属布线的光刻胶时,能够降...
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