技术编号：2702604
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。负性含氟光刻胶组合物及用于制备聚合物光波导器件，属于聚合物光波导。由环氧封端的含氟聚碳酸酯、光致产酸物（光引发剂）和有机溶剂组成，按重量和100%计算，环氧封端的含氟聚碳酸酯的含量为38～66wt%，光致产酸物的含量为环氧封端的含氟聚碳酸酯的8%，其余为有机溶剂。通过改变光致产酸物的种类可以调整光刻胶组合物的曝光波长，同时由于在环氧封端的含氟聚碳酸酯中，大部分氢原子被氟原子取代，其在通讯波段吸收较小。该光刻胶组合物可以在紫外波长200nm～400nm的范围...
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