技术编号：2702773
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种用于1064纳米波长的TE偏振的石英1×2分束斜光栅，该分束光栅的光栅周期为798～802纳米，倾斜角为14～16度，脊深为755～759纳米，占空比为0.5。当TE偏振光在一级布拉格角入射（23.41度）时，其透射光将分成等强度的2束光，这2束光总的衍射效率大于98%，并且其均匀性优于3%。本发明TE偏振倾斜石英1×2分束光栅由电子束直写装置结合微电子深刻蚀工艺加工而成，取材方便，造价小，能大批量生产，具有重要的实用前景。专利说明TE偏振的石英1 X...
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