技术编号：2702936
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种光刻设备，其包括用来保持多个压印模板的模板保持器和用来保持基板的基板保持器，所述模板保持器位于基板保持器的下方。专利说明压印光刻[0001]本发明涉及压印光刻。背景技术[0002]光刻设备是一种将所需的图案施加至基板的目标部位上的机器。光刻设备通常例如用于制造集成电路(IC)、平板显示器以及其他包含精细结构的设备。 [0003]人们希望能够降低光刻图案中特征部的尺寸，因为这样就能在给定的基板面积上得到更大密度的特征部。在光刻中，通过使用较短...
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