技术编号：2703541
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种紧凑型光刻投影物镜，构成包括沿其光轴方向从物面一侧依次包括第一透镜至第五透镜、孔径光阑、第六透镜至第十透镜，本发明采用对称式结构，可以有效地校正垂轴像差，同时采用正负光焦度平衡匹配有效地校正轴向像差，满足瑞利判据的要求；可用于偏振照明系统的偏振态测量实验、光瞳滤波实验或照明方式优化实验等等。采用尽量少的透镜实现大的数值孔径，结构紧凑，重量轻、体积小，有利于各种实验的开展。专利说明紧凑型光刻投影物镜[0001]本发明涉及光刻投影物镜，特别是一种用于偏振照...
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