技术编号：2703562
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本公开提供一种。显影剂喷涂装置用于向基板喷涂显影剂，该喷涂装置包括反应腔，用于接收该基板；至少一个喷嘴，位于该反应腔内，用于向该基板喷涂显影剂；回收槽，位于该反应腔之外，用于接收剩余的显影剂；及活动式喷嘴连接装置，位于该喷嘴与回收槽之间，包括至少一个罩体，其具有进液口；连接管，一端连接于罩体，另一端连接于回收槽；驱动部，用于带动罩体升降；其中，当罩体上升至其进液口与喷嘴对应时，从喷嘴喷出的显影剂经由该连接管进入该回收槽。专利说明[0001]本公开总地涉及一...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。