技术编号：2704517
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及波长可变干涉滤波器、及其制造方法、光模块以及电子设备。其中，波长可变干涉滤波器的可动基板（52）具备可动部，以及在从基板厚度方向观察可动基板（52）的俯视观察中设置在可动部外侧的槽（526），槽（526）具有槽的深度尺寸相同的底面（526C）和与底面（526C）连续的侧面，侧面在沿着基板厚度方向截断可动基板（52）的截面观察中由圆弧形的第一曲面部（526A）和第二曲面部（526B）构成。专利说明波长可变干涉滤波器、及其制造方法、光模块及电子设备[...
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