技术编号：2707565
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型公开了一种旋转式三维曝光装置，包括一个旋转样品台和驱动旋转样品台的第一步进马达，所述旋转样品台和第一步进马达垂直固定在一个旋转可控的中轴上，所述中轴通过轴承固定在机箱上并由第二步进马达驱动，所述的旋转样品台上方设有LED平行紫外光源，机箱上设有控制面板，控制面板上设有显示屏，显示屏下方依次设有倾斜角旋钮、步进角度旋钮、间隔时间旋钮、启动曝光按钮和停止曝光按钮；本实用新型的有益效果是1.曝光平面方向任意可调；2.样品在曝光平面的旋转任意可调；3.适...
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