技术编号：2707678
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种涂布设备中用来防止接头未拔取的装置。 背景技术图l表示在现有黄光工艺中，对晶片涂布光刻胶的设备。现有涂布设备100包括储液瓶10、中继室20、泵30、回吸阀(suckback valve)40与喷嘴50。 储液瓶10中储存光刻胶液，当泵30运转时，光刻胶液会从储液瓶10依次 经由中继室20、泵30、回吸阀40而从喷嘴50喷出至晶片5上进行涂布。在储液瓶10与中继室20之间的管路70上设有气泡传感器60,当储液 瓶10中的光刻胶液用尽时，空气会...
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