技术编号：2708584
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型公开了一种低损耗极紫外光传输系统，包括超环面镜、光栅；超环面镜为非球面掠入射型超环面镜；光栅为掠入射型凹面聚焦光栅；超环面镜的入射光为极紫外光，入射光的光源位于超环面镜物点处；入射光依次经过超环面镜和光栅后，聚焦在为平面的光谱面上；光栅位于超环面镜聚焦点和光谱面之间；光栅表面设有光栅线；光栅线密度的分布满足公式关系d(w)＝d0+d1w+d2w2+d3w3，其中，w为每条光栅线的中点距离光栅中心法线的距离；d0为光栅线密度，d0＝1190～121...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。