轨道结构和芯片检测设备的制作方法技术资料下载

技术编号:27090789

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.本实用新型涉及芯片检测领域,尤其公开了一种轨道结构和芯片检测设备。背景技术.在对芯片进行检测的过程中,一般需要将芯片移动一段距离后,通过探针对其进行检测,在相关技术中,大部分的芯片承载板可以通过xy轴直线电机相对底座进行移动,但是由于x轴的轨道给予y轴滑板的力不足,所以y轴滑板的平整度不足,这使得沿着y轴上的轨道容易产生凹陷或凸起,使沿着y轴移动的芯片承载板的移动不够平稳,从而使得芯片在移动过程中容易发生移位,影响后续芯片的检测精度。实用新型内容.本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技...
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