曝光描绘装置、记录了程序的记录介质以及曝光描绘方法技术资料下载

技术编号:2709243

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一种曝光描绘装置中的曝光描绘方法,该曝光描绘装置具有曝光单元,该曝光单元通过对具有第1面和与该第1面相对的第2面的被曝光基板进行曝光而描绘电路图案,曝光描绘方法进行如下步骤标记形成步骤,在被曝光基板的第2面的预先确定的位置上形成作为曝光位置的基准的第1标记,并且通过使相对于第1标记的相对位置在每个被曝光基板上不同,从而形成表示通过该相对位置识别被曝光基板的识别信息的第2标记;第1控制步骤,控制曝光单元在被曝光基板的第1面上描绘电路图案;以及存储步骤,将与第...
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