技术编号:27093673
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本公开总体上涉及一种包括冷却气体供应的立式批处理炉组件。背景技术.大多数立式批处理炉设置有芯管,芯管配置成容纳要在立式批处理炉中处理的晶片。在立式间歇式炉中进行处理时,晶片和芯管可能会变热。为了加快立式批处理炉组件的通过量,可以冷却芯管。冷却气体可以从在芯管的周向壁与外壳之间的冷却室的侧面处的多个周向间隔开的开口供应。发明内容.提供本发明内容是为了以简化的形式介绍概念选择。在下面本公开的示例实施例的详细描述中进一步详细描述了这些概念。本发明内容既不旨在标识所要求保护的主题的关键特征或必要...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。