负型感光性树脂组合物、固化浮雕图案的制造方法、及半导体装置制造方法技术资料下载

技术编号:2709434

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本发明提供一种负型感光性树脂组合物,其含有(A)具有下述通式(1){式中,R1、R2、X1和Y1如说明书中所定义}所示结构的聚酰亚胺前体100质量份和(B)光聚合引发剂0.1质量份~20质量份。专利说明负型感光性树脂组合物、固化淳雕图案的制造方法、及半导 体装置 [0001] 本发明涉及感光性树脂组合物、以及具有通过使该感光性树脂组合物固化而得到 的固化浮雕图案的半导体装置以及显示体装置等。 背景技术 [0002] 以往,电子元件的绝缘材料以及半...
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