技术编号：2709452
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明揭示用于检验光学光刻光罩的方法及设备。从光罩检验系统接收缺陷数据流，其中所述缺陷数据识别针对所述光罩的多个不同部分所检测的多个缺陷。在检视所述缺陷数据以确定所述光罩是否通过检验之前且在继续接收所述缺陷数据流时，将所述缺陷中的一些缺陷与其它最近一或多个所接收缺陷自动分组在一起以便形成实质上匹配缺陷的群组。在检视所述缺陷数据以确定所述光罩是否通过检验之前且在接收到所述光罩的所有所述缺陷数据之后，从所述缺陷数据自动过滤所述缺陷群组中的具有高于预定阈值的数目...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。