技术编号:27095505
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及适用于射频(rf)功率应用的功率电容器领域,例如提供给等离子体系统的射频功率的动态阻抗匹配。特别地,本发明涉及用于这种功率射频电容器的陶瓷电介质。背景技术.射频功率电容器可用于例如以高电压和/或高电流向诸如用于半导体制造工艺的等离子体室的装置提供射频功率。等离子体室内的等离子体呈现出变化大且快的负载阻抗。重要的是,用于该室的射频功率发生器的输出阻抗与等离子体室的快速变化的负载阻抗紧密匹配,以避免功率反射回射频功率发生器的输出电路的破坏性反射。需要反应性组件,它们必须能够处理传输的...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。