技术编号：2709624
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种光刻设备包括被构造为支撑图案形成装置(5)的图案形成装置支撑件，图案形成装置能够在辐射束的截面中施加图案以形成图案化的辐射束，图案形成装置支撑件包括相对于物体可移动地设置的可移动结构(3)，相对于可移动结构可移动地设置并且被配置用于保持图案形成装置的图案形成装置保持器(4)，配置用于相对于物体移动可移动结构(3)的致动器(8)，以及被配置用于相对于可移动结构(3)移动图案形成装置保持器(4)的超短冲程致动器(9)；被构造为保持衬底(W)的衬底支撑件(W...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。