技术编号：2710631
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供了波长可变干涉滤波器、滤光器设备、光模块及电子设备。第一驱动电极（36）的厚度尺寸形成得大于第一反射膜（35）的厚度尺寸及第一导电膜（37）的厚度尺寸的和，第一驱动电极（36）从固定基板（30）的表面延伸至第一导电膜（37）的外缘部的表面并接触，第二驱动电极（46）的厚度尺寸形成得大于第二反射膜（45）的厚度尺寸及第二导电膜（47）的厚度尺寸的和，第二驱动电极（46）从可动基板（40）的表面延伸至第二导电膜（47）的外缘部的表面并接触。专利说明波...
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