基于液晶狭缝波导的微环谐振腔型可调谐光滤波器的制造方法技术资料下载

技术编号:2710641

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本发明公开了一种基于液晶狭缝波导的微环谐振腔型可调谐光滤波器,包括衬底、第一直波导、第二直波导、微环波导、第一电极、第二电极及上包层;第一直波导、和/或、第二直波导内设有狭缝结构,第一直波导及第二直波导分别设置在衬底的上表面;微环波导内设有狭缝结构,微环波导设置在衬底上,且微环波导位于第一直波导与第二直波导二者之间;第一电极设置在微环波导的内圆环区域,第二电极设置在微环波导的外圆环区域;上包层分别覆盖在第一直波导、第二直波导、微环波导、第一电极和第二电极上...
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