技术编号：2710688
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供一种抗蚀剂用聚合物以及含有该聚合物的抗蚀剂组合物，其为含有羟基的金刚烷基(甲基)丙烯酸酯的均聚物，上述均聚物中羟基部分或全部被缩醛基取代，利用光刻技术形成图案时，特别是，通过NPD方式形成图案时，可以防止厚度损失，同时防止厚度损失所带来的抗蚀剂的抗蚀刻性降低，从而形成具有优异的感光度和分辨率的微细抗蚀剂图案而有用，且具有优异的对比度改善效果。专利说明抗蚀剂用聚合物以及含有该聚合物的抗蚀剂组合物[0001]本发明涉及利用光刻技术形成图案而有用的抗蚀...
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