技术编号：2711710
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种用于光刻照明系统的折反射式光刻照明中继镜组，由折射透镜组、球面反射镜阵列、孔径光阑和平面反射镜组成，本发明具有结构简单，透过率高，成像质量高的特点，容易实现光刻照明系统和投影曝光系统的远心度匹配，可为掩模板提供均匀照明。专利说明折反射式光刻照明中继镜组[0001 ] 本发明涉及光刻照明，特别是用于光刻照明系统的一种折反射式光刻照明中继镜组。背景技术[0002]光刻照明系统是光刻机的重要组成部分，为光刻机提供高均匀性照明、控制曝光剂量和实现离轴照明，从而...
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