技术编号：2711737
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明提出一种光罩静电除尘装置，在光罩上下表面分别放置阴极板和阳极板，并且在阴极板和阳极板两端施加一定的电压，使阴极板和阳极板之间形成高压电场，由于阴极发生放电，使带负电的气体离子在电力场的作用下向阳极板运动，在运动中与光罩表面的颗粒相碰，使颗粒荷以负电，荷电后的颗粒在电场力的作用下，亦向阳极板运动，使颗粒沉积于阳极板上，从而到达将光罩表面颗粒完全移除的目的。专利说明光罩静电除尘装置[0001]本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种对光罩采用静电除尘的光罩...
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