技术编号：2712108
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及液晶显示，具体公开了一种，包括对于确定的产线特性和光刻胶特性，采用测试掩膜板在平坦的隔垫物基底上制作单层柱状隔垫物，测量柱状隔垫物与设计值的差异，得到针对曝光机光线平行度的补正值，通过不同尺寸的隔垫物基底和柱状隔垫物，建立柱状隔垫物与设计值的偏差模型，得到针对尺寸的偏差值，根据所述补正值、偏差值以及掩膜板设计开口值得到矫正后的柱状隔垫物形状。本发明在柱状隔垫物制作工艺中，很好的保持上底形貌，解决了柱状隔垫物形貌因隔垫物基底不平而上底形貌变化很大，...
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