技术编号：2712209
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供一种感光层结构，包括一光刻胶层及至少一吸光层，吸光层涂布在光刻胶层的顶部与底面的至少其中之一，吸光层能够吸收部份特定波长的曝光光线。另外，使用该感光层结构的光刻工艺包括以下步骤首先，提供一衬底。再来，在该衬底上涂布一感光层结构，感光层结构包括一光刻胶层及至少一吸光层，吸光层涂布在光刻胶层的顶部与底面至少两者其中之一，吸光层能够吸收部份特定波长的曝光光线。之后，提供一光刻版，光刻版设置于该衬底上方。然后，对衬底进行以曝光。再来，对曝光后的感光层结构...
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