技术编号：2712528
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及。一种通过使用模子将图案压印在衬底上的树脂上的压印设备包括检测器，被配置为检测模子标记和衬底标记；驱动单元，被配置为改变模子和衬底的相对位置；固化单元，被配置为使树脂固化；以及控制器，被配置为控制检测器、驱动单元和固化单元。控制器执行对准步骤，根据所检测的模子标记和衬底标记来控制驱动单元从而执行对准，固化步骤，在对准步骤之后使得固化单元使树脂在与模子接触的情况下固化，以及检测步骤，在固化步骤之后使得检测器检测模子标记和衬底标记，以确定在已经使树脂...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。