技术编号：2712973
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及，步骤包括微纳光栅器件材料的悬浮液的制备，基底的处理和利用微滴喷射仪喷打制作微纳光栅。本发明结合微滴喷射技术制作微纳光栅，相比较其他方式，该方法制作周期小且操作十分方便，可重复性好，成本低廉，应用前景广阔。专利说明[0001]本发明涉及。背景技术[0002]刻线精度达到微米/纳米量级的计量光栅称为微米/纳米光栅。与传统计量光栅相比，微纳光栅具有两个重要的特点，即超精，刻线位置误差达到微/纳米量级；超细，刻线的宽度达到亚微米量级。微纳光栅的制作技术...
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