振动加热式芯片拔除装置及振动加热式芯片拔除方法技术资料下载

技术编号:2713404

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振动加热式芯片拔除装置包括承载平台以及振动加热装置,承载平台具有承载面,定义平行于承载面并相互垂直的方向分别为第一方向和第二方向,并定义垂直于第一方向和第二方向的方向为第三方向。振动加热装置包括工作头、振动驱动装置和加热装置,工作头设置于承载平台上,工作头包括平行于第二方向和第三方向的工作抵靠面,振动驱动装置连接于工作头,驱使工作头沿第一方向或第二方向振动,加热装置连接于工作头,加热工作头。本发明还涉及振动加热式芯片拔除方法,对于芯片的拔除效率高,装置操作...
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