一种具有连续振幅和相位调控的亚波长孔结构阵列的制作方法技术资料下载

技术编号:2713726

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本发明涉及一种连续振幅和相位调控的亚波长孔结构阵列,它由金属材料膜和位于金属材料膜内的若干个双层孔结构单元构成。双层孔结构单元是由在金属膜内制作的上层孔和下层孔组成,上层孔和下层孔为同轴通孔;上层孔的上端面与金属膜层上表面重合,下层孔的下端面与金属膜层下表面重合;对给定波长电磁波,可以通过改变上层孔直径、深度和下层孔直径、深度来调节双层孔结构单元的等效折射率;进而实现在一定范围内的振幅和相位连续调控。可以根据需要,在平面上采用多个双层孔结构单元(即双层孔结...
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