一种径向偏振光下的长焦、紧聚焦表面等离激元透镜的制作方法技术资料下载

技术编号:2713857

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本发明公开了一种径向偏振光下的长焦、紧聚焦表面等离激元透镜,包括介质衬底和位于介质衬底上的金属薄膜,在金属薄膜中心蚀刻有一个T型微孔,微孔的周围分布有周期性同心环结构,周期性同心环结构包括带有调制相位功能的同心环沟槽以及外围的同心环沟槽。径向偏振光由底部入射,通过金属-介质-金属型波导结构,从各个方向高效激发Spps,处于中心的T型微孔在增加透射光强的同时,中心孔透射光与散射至自由空间的Spps由于多模干涉形成紧聚焦,调节阶梯型同心环沟槽出口处相位,配合天...
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