技术编号：2713957
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开一种宽谱线投影光学系统和光刻设备。宽谱线投影光学系统为在物方和像方皆接近远心光路的缩小的投影光学系统，其从物平面到像平面依次包括具有正光焦度的第一镜组、可变孔径光阑、第二镜组和具有正光焦度的第三镜组。第二镜组满足关系式vd＝(nd－1)/(nF－nC)，nd＜1.65且vd＞65的正透镜最少有2个，nd＞1.50且vd＜55的负透镜最少有2个。第三镜组中，最接近像平面的透镜为负透镜，负透镜具有一个面向像平面的凹面，且满足以下关系式nd＜1.66且...
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