技术编号：2714241
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及对金属表面进行微细加工领域，具体涉及一种采用激光干涉光刻、电铸等方式结合对滚筒表面进行浮雕微结构加工的方法。背景技术 为了大批量复制表面浮雕微结构，通常采用LIGA(光刻-电铸)工艺，便于母板复制，具体工艺流程是，先对光刻胶浮雕表面进行金属化处理，生产电极，然后，置于电铸槽的阴极上，在光刻胶上沉积成一定厚度的金属镍版，再与光刻胶分离，金属镍板上形成了浮雕结构，制成了金属镍母版。再用母版翻铸金属工作版，这里，光刻-电铸工艺的优点是，电铸复制快速、简...
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