一种低温光刻胶重工剥离液及其应用的制作方法技术资料下载

技术编号:2714522

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本发明涉及一种低温光刻胶重工剥离液及其应用,该剥离液由无机类强碱化合物10%~40%、表面活性剂0.1%~20%、渗透剂0.5%~10%、水溶性有机溶剂10%~60%以及水20%~65%组成,表面活性剂选自烷基糖苷类、脂肪醇OE-OP嵌段共聚物、氨基OE-OP嵌段共聚物;水溶性有机溶剂选自水溶性醇醚类溶剂和酰胺类溶剂。使用该剥离液,在50-60℃下仅需1-3分钟即可彻底剥离掉彩色滤光片表面各种光刻胶及OC胶保护层,且剥离后的溶液经过过滤后,可循环使用,节约...
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