光学滤波器及其生产方法以及用于检查电磁辐射的装置制造方法技术资料下载

技术编号:2714582

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本发明涉及一种光学滤波器及其制造方法,以及涉及一种用于检查从物体发出的电磁辐射的光谱分布和位置分布的装置。本发明要解决的技术问题是,提出可以成本低廉地制造的上述种类的光学滤波器,用该滤波器可以探测多个波长,其中不需要通过DBR镜的移动来调谐。此外,提出了一种用于制造这样的滤波器的方法。按照本发明的第一方面,通过用于制造具有两个DBR镜和在它们之间存在的空腔的光学滤波器阵列的方法来解决上述技术问题,该空腔包含具有多个不同高度的、分别形成Fabry-Perot...
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