基于硅基纳米线波导的片上集成光学数模转换器的制造方法技术资料下载

技术编号:2714583

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本发明公开了一种基于硅基纳米线波导的片上集成光学数模转换器,包括N个激光器、一个调制复用一体结构,以及一个光电探测器,其中,该调制复用一体结构包含一条干线波导L0、N个级联的硅基纳米线波导微环谐振器(MRR1、MRR2、......MRRN)和N条弯曲波导(L1、L2、......LN),N个激光器分别与N个弯曲波导(L1、L2、......LN)的上载端相连接,光电探测器与干线波导L0的直通端相连接,N为自然数。利用本发明,充分发挥硅基波导结构紧凑、功耗...
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