技术编号：2715613
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供一种产生光刻胶图案的方法和装置及其预烘装置，预烘装置包括加热板；加热控制器，与所述加热板耦接并控制所述加热板的温度；以及支撑板，通过连接部与所述加热板连接并与所述加热板成一定角度，一涂布光刻胶后的基板置于支撑板上并由所述加热板产生的热量预烘，其中，由于所述支撑板与所述加热板成一定角度，所述支撑板的两端所受到的加热板的热量产生差异。通过不同的加热温度使得光刻胶溶剂的蒸发速率不同，进而使得光刻胶与显影液的显影反应速度不同，以减少显影液涂布的时间差产生...
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