基于自聚焦成丝的超短脉冲激光制备光波导器件的方法技术资料下载

技术编号:2715668

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本发明涉及一种超短脉冲激光自聚焦成丝诱导应力场制备光波导器件的方法。该方法通过聚焦系统将超短脉冲激光聚焦到介质内部,调节超短脉冲激光功率,使脉冲激光自聚焦成丝冲击对激光作用周围区域挤压,使其折射率变大;根据需要使超短脉冲激光聚焦光斑在介质内扫描并曝光,制备不同结构的光波导器件。该方法形成光波导的包层均匀,明显优于简单聚焦冲击产生的挤压,可避免形成的光波导的应力双折射,使光波导折射率轮廓不受光束畸变的影响,并保留基底材料固有的物理性质。该方法亦可用于金刚石等...
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