一种极紫外反射镜片的四维装调装置制造方法技术资料下载

技术编号:2715930

提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种反射镜片的装调装置,包括真空腔体、反射镜片、镜片支撑架、滑动系统、第一调节系统和第二调节系统,反射镜片位于真空腔体内,镜片支撑架安装反射镜片,滑动系统包括滑动通道和滑动体,滑动体置于滑动通道上并能够在滑动通道上滑动;镜片支撑架的底部开有球窝,以使镜片支撑架通过球窝与滑动体的配合装配在该滑动系统上;第一调节系统从真空腔体外伸入真空腔体内,并抵顶镜片支撑架,以使该镜片支撑架绕穿过滑动体的中心的两两之间相互垂直的三条轴线转动;第二调节系统从真空腔...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。

详细技术文档下载地址↓↓

提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
该分类下的技术专家--如需求助专家,请联系客服
  • 孙老师:1.机机器人技术 2.机器视觉 3.网络控制系统
  • 杨老师:物理电子学