技术编号：2715986
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供了，其中曝光系统包括发光面板，发光面板包括矩阵式排布的多个发光单元，每个发光单元包括发光层；用于驱动发光面板待发光区域内的发光单元进行发光的驱动模块，待发光区域具有的图形与待形成图形的形状相同；用于将发光面板发出的光转变为平行光的第一透镜；用于对经过第一透镜的光进行过滤，选择透过进行曝光需要的波长的光的滤镜。本发明的技术方案仅通过控制不同区域内的发光单元发光，就能够实现制作不同图形所需的不同区域的曝光，节省了实体的石英掩膜版，从而降低了光刻工艺的...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。