技术编号：2716267
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种水冷式变形镜，包括冷却系统、冷却腔体、支撑架、驱动器和反射镜，所述的反射镜的一面为反射面，另一面为基准面，所述基准面的边缘刻蚀有边框，边框内部区域通过加工刻蚀为若干个圆柱；驱动器的输出端设置有若干个连接点，所述基准面上的一个圆柱对应驱动器输出端的一个连接点；圆柱与驱动器输出端的连接点之间通过粘结剂粘结在一起；本发明通过对反射镜的一面通过刻蚀工艺刻蚀出若干个圆柱能有效的增加反射镜与冷却介质的接触面积，同时通过圆柱连接，可以减小整个反射镜与驱动...
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