一种石墨烯的化学图形化方法技术资料下载

技术编号:2716286

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本发明公开了,包括以下步骤1)在石墨烯表面涂抹光阻材料;2)将步骤1)得到的光阻材料-石墨烯复合材料曝光显影,得到需要的图形;3)将步骤2)得到的曝光显影后的光阻材料-石墨烯复合材料送入反应装置,将显影暴露的石墨烯转变为石墨烷;4)去除步骤3)得到的复合材料上的光阻材料,得到图形化的石墨烯。本发明将需要图形化的石墨烯部分进行保留,而将不需要的部分变成石墨烷,由于石墨烷不导电,所以不会影响石墨烯的导电性能,这样既保证了石墨烯的功能性图形化得以实现,同时也保留...
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